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高达 30 千瓦
HXF 特别适用于溅射敏感层。全自动电弧处理将电弧能量降低到 0.3mJ/kW 以下。HXF 与 HX 型电源在电气和机械上兼容，并且还具有用于操作脉冲发生器的接口。
极其紧凑的设备可以在任何安装位置集成到系统中。即使在没有空调的房间里，强大的水冷系统也能确保最大的可靠性。为避免冷凝，可通过集成温度控制连接外部电磁阀。并联运行时，输出功率可增加至 240 kW。
特点
输出功率 15 kW - 30 kW
并联运行高达 240 kW
水冷
电磁阀控制
带颗粒分离器的内部风扇
½ 19" 外壳
法兰安装
带吊眼的 M8 螺纹
可旋转和可拆卸的显示屏
自动灭弧
常用型号
ADL HXF 150/500
ADL HXF 150/600
ADL HXF 150/800
ADL HXF 200/800
ADL HXF 250/800
ADL HXF 300/800
技术数据
显示（选项） 3½ 位数字显示电流、电压和功率
调节电流、电压或功率调节
通过接口卡的外部操作模式
设定值 0 ... 100% 的电流、电压或功率标称值
准确度 +/- 1% 的电流、电压和功率标称值
消弧 删除时间：2 μs 至约 20 μs，自动
消隐时间：10 μs 到约 50 μs，自动
尺寸（不含连接器） 宽度：218 毫米（½ 19 英寸），高度：222 毫米（5 U），长度 645 毫米