德国 ADL 电源

 

ADL主要系列产品：

1、直流电源 GS 系列 0.5 - 3.0kW GS 05 - GS 30

紧凑型电源是为生产工厂和实验室中的磁控管开发的。简单和安全的操作使这些电源非常灵活，适用于许多过程。电弧处理会根据不同的工艺参数自动调整，因此无需编程。这些装置专为安装在 19" 机架中而设计。

 

输出功率 0.5 - 3.0kW

风冷

½ 19″–外壳，3 HU

可互换的接口

电压、电流、功率显示

通过前面板手动操作

自动电弧处理

 

2、直流电源 GS 系列 6.0 - 15kW GS 60 - GS 150

GS 60 – GS 150 系列风冷直流电源提供三种不同的版本：有源前面板、无源前面板和状态 LED。电源可以在没有占空比限制的情况下以全额定功率运行。多个电源的并联运行是可能的。GS 60 – GS 150 系列与 ADL 的所有电源一样，具有极快的自动消弧功能。电源的操作既简单又安全。

 

输出功率 6.0 - 15kW

风冷

19″–机箱，3 HU

浮动输出

焦耳模式

自动电弧处理

 

3、直流电源 GSW 系列 10.0 - 30kW GSW 100 - GSW 300

并联运行时，输出功率可增加到240kW。由于采用了特殊的电路布置，因此不需要“主从接线”。即使在没有空调的房间里，高效的水冷也能保证最高的可靠性。电源可通过前面板或接口手动操作。有不同的前面板和接口可用。超快速电弧处理完全自动工作，即使在并行操作中也不需要同步。

 

输出功率 10 – 30kW

水冷

19″–机箱，3 HU

浮动输出

并联运行高达 240 KW

自动电弧处理

 

4、直流电源 GX 系列 5.0 - 15kW GX 50 - GX 150

GX-Sputtering 电源能够每秒自动消除高达 80.000 个电弧。这种极端的能力与电源的小尺寸相结合，对于 GX 系列来说非常出色且意义重大，该系列还具有集成的阴极钳位二极管。电源可以在没有占空比限制的情况下以全额定功率运行。

 

输出功率 5 - 15 kW

水冷

½ 19″–外壳，3 HU

浮动输出

焦耳模式

自动电弧处理

 

5、直流溅射电源 HX 150 – HX 300

½ 19” 宽度和 5 HU 的非常紧凑的设计专为没有机柜的生产工厂而设计。HX 具有安装法兰，可以在任何位置集成到或连接到等离子室。显示器可以旋转并与电源分离。即使在没有空调的房间里，高效的水冷也能确保最高的可靠性。为了避免冷凝水，可以通过集成温度控制连接外部电磁阀。并联运行时输出功率可达240kW。特殊的电子设计允许主从操作以及通过 Interface-Combiner 或 Profibus 的并行操作。极快的 Arc-Handling 完全自动工作，因此无需设置参数

 

输出功率 15kW – 30kW

并联运行高达240kW

水冷

电磁阀控制

带集成颗粒拦截器的机柜通风

½ 19”- 外壳，5 HU

法兰安装

M8-吊眼用内螺纹

可更换、可旋转的显示器

自动电弧处理

 

7、离子源电源

对于离子源（Kaufmann 和 ECR）的操作，可使用特殊电源。根据要求，这些装置还可以配备其他输出电压或输出功率。所有电源都有一个模拟接口或 Profibus

 

8、脉冲发生器、选件和附件：RD 300、D 300、RC4、AM2、OM5

脉冲发生器 RD 300 与大多数 ADL 电源结合使用谐振开关电路。凭借非凡的效率（30kW 时为 99.5%），该装置非常紧凑，功耗最大为 150W。现有设备可以轻松改造，因为脉冲发生器 RD 300 直接与直流电源并联连接到阴极。发生器以 2kHz 的固定频率运行。然而，使用外部信号发生器，该频率可以在 0.2 到 3kHz 之间变化。可以通过控制线连接多个脉冲发生器 RD 300 以实现自动同步。

 

9、单极脉冲发生器 SD 30、SD 150 和 SD 300

结合 ADL 直流电源，脉冲发生器产生单极脉冲。脉冲发生器以 20kHz 的固定频率工作。因此，使用外部信号发生器，该频率可以在 1kHz 至 40kHz 的范围内变化。脉冲发生器配备有自动消弧装置。Triplevel 和 Pulse off time 的参数会根据具体过程自动调整。完全不需要用户编程。对于自动同步，可以通过控制电缆连接多台发电机。在这种情况下，脉冲发生器会自动切换到外部同步。

 

输出功率 3 kW、15 kW、30 kW

并联运行高达 240 kW

自动电弧处理

输出浮动

自动同步

风冷

非常紧凑的设计

法兰安装

 

10、中频双极脉冲发生器 SB 300

发生器可用作中频发生器以产生对称的交流电流以及双极脉冲发生器以产生不对称的方波脉冲。使用特殊的比例功率控制器，双磁控管的目标寿命可以精确对称。此外，还可以用不对称脉冲功率控制两种不同的目标材料。比率功率控制器通过脉宽调制 (PWM) 自动设置脉冲时间。发生器以 20kHz 的固定频率工作。发生器具有自动消弧功能。Triplevel 和 Pulse off time 的参数会根据所选过程自动调整。不需要用户编程。对于自动同步，可以通过控制电缆连接多台发电机。

 

输出功率 30kW，交流

主/从或并联单元组合，最大 240kW

比例功率控制器

自动同步

水冷

非常紧凑的设计

输出浮动

模块化系统允许将 HX (DC) 与单极脉冲发生器 (SD) 或双极脉冲发生器 (SB) 结合使用

紧凑型设计 ½ 19“

带 PWM 控制的双极脉冲发生器保证绝对对称溅射！

出色的超快和全自动电弧管理

工艺重现性：优于1-2%